Глинозема керамической формы частей

Описание продукции:

1.Характеристики продукта

• производительность материала: изготовлен из керамического материала высокой чистоты циркония, обладает высокой прочностью (прочность на сжатие превышает 2000 мпа), высокой твердостью (твердость Mohs 8,5), высокой термостойкостью (максимальная рабочая температура 1600℃) и отличной износостойкостью.

• точность обработки: с помощью холодного изостатического прессования, спекания при высокой температуре и точной обработки, точность размеров может достигать ±0.001 мм, а поверхностная отделка достигает Ra0.1.

• химическая стабильность: она проявляет стабильность в кислотной, щелочной и органической среде растворителей, не подвержена химическим реакциям и не загрязняет полупроводниковые компоненты.

Поля применения

• обработка ваферов в производстве полупроводников.

• механические компоненты в высокотемпературных средах.

• совместные части гуманоидных роботов.

• материалы для радиационной защиты.

Оборудование для обработки полупроводниковых ваферов

1.Вакуумная рука робота:

• рабочая среда: 10⁻⁵ Pa вакуум.

• применимое оборудование: фотолитографии, гравюры и т.д.

• технические характеристики: использует двигатели прямого привода, чтобы избежать загрязнения смазки.

2.Рука робота в атмосфере:

• уровень чистоты: класс 1-10.

• рыночная доля: 60%.

• технические характеристики: принимает герметичную конструкцию.

3.Основные технологии:

• выбор материала: 95%-99% чистоты глинозема керамические (сопротивление комнатной температуре 10¹⁵ Ω·cm) или карбида кремния керамические (теплопроводность 490 вт/м ·K).

• точность позиционирования: воспроизводимая точность позиционирования 0,05 мм, горизонтальная вибрация 0,2g.

• технология чистоты: достигает наивысшего уровня чистоты (класс 1) в стандартной классификации чистых комнат ISO.

Supports custom specifications.